我的Java Web之路7 - HTTP和HTML

本系列文章旨在記錄和總結自己在Java Web開發(fā)之路上的知識點、經驗、問題和思考，原來已經分享在我的CSDN博客，現在分享在頭條，希望能幫助更多碼農和想成為碼農的人。版權聲明：本文為CSDN博主「普通的碼農」的原創(chuàng)文章，遵循CC 4.0 by-sa版權協議，轉載請附上原文出處鏈接及本聲明。原文鏈接：https://blog.csdn.net/liyongyan1202/article/details/87779913

錄

介紹
訪問網站
瀏覽器
URL
域名系統 - DNS
超文本傳輸協議 - HTTP
網頁 - HTML
CS架構和BS架構
HTTP服務器、Web服務器、Web容器、Servlet容器
總結

介紹

上篇介紹了Web的基礎，即計算機網絡及其協議，目前TCP/IP協議族是互聯網協議的事實標準。Web特指基于網頁和HTTP等相關技術的計算機信息處理系統，所以一旦提到Web瀏覽器、Web服務器、Web容器、Web程序、Web應用、Web Service等等，那么肯定就是基于網頁和HTTP等相關技術的東西了。由于Web大行其道，有時候互聯網就是指Web（萬維網）。

Web其實最早是由歐洲核子研究組織的蒂姆博納斯李博士為研究者們共享知識而提出來的，最基本的理念就是各個文檔之間相互關聯形成超文本（HyperText），這就是俗稱的網頁，而傳輸網頁的通信規(guī)范和約定就是超文本傳輸協議（HyperText Transfer Protocol，簡稱HTTP）。

我們以后是要學習怎么用Java語言來開發(fā)Web應用，所以網頁和HTTP必須要有一定的了解。

訪問網站

在你的計算機上運行瀏覽器（程序/軟件），目前主流的瀏覽器有微軟的IE、谷歌的Chrome、開源的FireFox。
在瀏覽器的地址欄上輸入一個網址，比如：http://www.baidu.com，然后敲擊回車鍵。
可以看到，我們的瀏覽器打開了百度的首頁。
在百度首頁中央的輸入框中你可以輸入若干關鍵字（目前還能拖入圖片），比如，輸入“Java Web”點擊右邊的“百度一下”按鈕。
這時我們可以看到，首頁變成了一項一項排好序的搜索結果，你可以用鼠標點擊任何一個結果，這就是超鏈接，就能獲取到與關鍵字相關的其他網頁了。

這就是訪問一個網站的主要流程，從中可以看到必須有三樣東西：

瀏覽器（程序/軟件），一般安裝在你的計算機上；
網站的網址，這就是常說的URL（英文全稱是Uniform Resource Locator，直譯為統一資源定位符）；
網站：本質上也是計算機運行的程序，這就是HTTP服務器或者稱為Web服務器（事實上網站背后除了HTTP服務器，還有眾多后臺程序，比如最重要的數據庫服務器，就是提供數據的存儲和訪問的），只不過可能是由很多臺計算機運行它，因為一臺計算機不足以應對大量用戶同時訪問。

其實網站不僅僅可以為人類提供數據/信息（這就叫人機界面、人機接口、人機交互），它還可以為其他機器上運行的程序提供數據/信息（這就是應用程序接口，即API，是程序與程序之間的交互）。

瀏覽器

這個就不多介紹了，但也有很多點：

刷新和回退
編碼問題
緩存問題
Cookie
開發(fā)者工具的使用

URL

URL通常有以下的形式（更復雜的暫且不提）：

http://www.xxx.com:80/dir/resource.htm?queryKey1=value1&queryKey2=value2

http://：這是采用的協議；
www.xxx.com：網站的服務器地址，通常是域名，也可以是IP地址；
80：網站的服務器端口號，通常是80，與服務器地址之間用冒號分隔；
dir/resource.htm：你所請求的資源，通常是網頁，后綴通常是htm、html、jsp、php、asp等等（但現在也可以是圖片、視頻、音頻、css、javascript、甚至只是一個抽象化的服務，這些都被視為資源），可以把它想象成是訪問本地的文件一樣，有路徑和文件名，與服務器端口號之間用正斜杠分隔；
queryKey1=value1&queryKey2=value2：這是需要提供給服務器的一些查詢參數，參數名和參數值之間用等號，第一個參數與資源之間用問號分隔，各個參數之間用 & 分隔。

域名系統 - DNS

由于IP地址不容易記憶，于是人們又發(fā)明了域名系統（Domain Name System，簡稱DNS）。

簡而言之，DNS就是為了幫助人們把域名翻譯成IP地址的系統，所以我們才可以在URL中用容易記憶的域名來代替IP地址。

這樣，瀏覽器在訪問網站時，首先請求DNS將URL中的域名轉換為IP地址，然后再用IP地址來構建IP報文發(fā)到互聯網，互聯網會根據IP地址把你的請求轉發(fā)到該網站。一般你的計算機也會把使用過的域名緩存起來，這樣就不用每次都要請求DNS來轉換了。

與DNS通信的協議就是DNS協議，它也屬于應用層的協議。

在你的計算機上可以配置DNS服務器的IP地址。

超文本傳輸協議 - HTTP

前面所介紹的都是用戶能看得到的，而HTTP實際上是用戶看不到的。上篇已經介紹過，HTTP是屬于應用層的協議，是基于TCP的，實際上可以理解為瀏覽器和HTTP服務器之間交流的語言。

首先，HTTP是文本格式的，就是說它的報文內容都是字符（本質上計算機里的數據都是二進制的，只不過文本格式的數據已經由計算機轉換成字符顯示給我們而已）。

其次，HTTP協議規(guī)定一次通信必須由瀏覽器發(fā)起請求，由HTTP服務器返回響應，屬于請求-響應模式。而HTTP是基于TCP的，TCP又是面向連接的，所以瀏覽器必須向HTTP服務器發(fā)起連接，這樣就必須知道HTTP服務器的IP地址和端口，所以URL里面就包含有這兩項。

最后，HTTP協議是無狀態(tài)的。這是什么意思呢？就是說瀏覽器發(fā)送給HTTP服務器的各個請求之間在協議層面上是相互獨立的，即協議不提供各個請求之間相互關聯的技術和手段，需要由其他技術比如Cookie或者HTTP服務器端的Web應用程序來提供狀態(tài)維護。最常見的是用戶登錄某網站之后，后續(xù)的請求即處于用戶登錄狀態(tài)下，但HTTP協議并不維護此關系，由其他技術來維護。

我們可以使用抓包工具抓取HTTP報文來觀察其格式，Wireshark就是一款不錯的抓包工具，可以到其官網（https://www.wireshark.org/）進行下載安裝，在此不贅述。

下圖抓取的是我訪問新浪網的請求包：

可以看到HTTP請求包含四個部分：

第一行：是請求行，由HTTP方法（這里是GET）、URI（這里是 / ）、HTTP協議版本（這里是HTTP/1.1）、回車換行符組成；
接下來若干行直到一個空行之間：是請求的首部，可以有若干個首部，每一個首部都是名字、冒號、值和回車換行符；
空行：只有回車換行符；
剩下的：是請求體（這里并沒有）。

HTTP方法最常用的是：

GET：就是指我要獲取某個資源，上圖是 / 這個資源，表示是新浪官網首頁的網頁；
POST：主要的目的是為了傳輸實體，就是說我要把某個新建的實體上傳到HTTP服務器。

其他方法暫時不討論，以后我們就可以直接說GET方法、GET請求、POST方法、POST請求了。

首部部分也暫時不討論，主要就是為了瀏覽器與HTTP服務器之間的某些信息的協商，比如我接收什么編碼格式的資源，連接的保持、緩存的控制、內容的長度等；

請求體就是用戶數據了。

下圖看對應的響應包：

可以看到HTTP響應也包含四個部分：

第一行：是狀態(tài)行，有HTTP協議版本（這里與請求行里的一致）、狀態(tài)碼（這里是200，表示請求被服務器成功處理了）、原因短語（這里是OK）、回車換行符；
首部部分：與請求報文里的類似；
空行：只有回車換行符；
響應體：這里實際上就是一個網頁，網頁的內容也可以明確看到是HTML的內容。

這里我們要記住一些常用的狀態(tài)碼，方便問題排查：

400 Bad Request：表示請求報文有問題；
404 Not Found：表示服務器上沒有所要請求的資源；
500 Internal Server Error：表示服務器端執(zhí)行請求時發(fā)生了某些錯誤。

HTTP協議就暫時介紹這么多，下面再簡單介紹一下網頁。

網頁 - HTML

所謂網頁，本質上就是一個文本文件，只不過這個文件是具有某種格式的，這種格式就是HTML（HyperText Markup Language，直譯為超文本標記語言）格式，只要掌握了這種格式，你就可以自己編寫網頁了。

比如簡單的一個網頁就是：

<html>
<head></head>
<body>
 <h1>你好，世界！</h1>
</body>
</html>

用文本編輯器新建一個文件，敲入以上的代碼（也可以稱為代碼哦，只不過這個代碼是由瀏覽器來解釋的），保存為文件名是“我的第一個網頁.html”的文件。然后在瀏覽器里面打開這個文件（直接拖進瀏覽器即可），可以看到：

網頁之所以叫超文本，原因在于網頁內可以可以包含圖片、視頻、鏈接，音樂、甚至程序等非文字元素。網頁的基本格式就是類似上面的。

網頁的基本元素就是標記或者叫標簽，就是由尖括號括起來的東西，通常都是成對的，一個開始一個結束，結束的帶有斜杠，比如上面的html標簽是<html>和</html>、head標簽是<head>和</head>，body標簽是<body>和</body>。這三個是必須要有的標簽，然后在標簽里面嵌入你的數據，或者其他標簽。標簽以及標簽內的數據加起來就叫一個元素。

更詳細的介紹可以參考其他書籍或網站。W3Cschool是一個不錯的學習網站。

所謂Web開發(fā)，包括前端和后端，前端主要就是指瀏覽器這一端的技術，主要包括：HTML、CSS和JavaScript等。

HTML：主要是負責數據的結構、框架或骨架，表示哪些數據是標題啊、主體啊、導航啊、鏈接啊、表格啊、段落啊、圖片啊、音頻、代碼啊等。簡而言之，就是表示數據是什么。
CSS：主要是負責控制數據的樣式，所以其英文全稱就是Cascading Style Sheets（直譯為層疊樣式表），就是數據呈現成什么樣子，比如字體啊、大小啊、顏色啊、前景啊、背景啊之類的。簡而言之，就是表示數據什么樣？
JavaScript：又是一門語言，也是由瀏覽器來解釋運行，主要是負責動態(tài)行為，比如跟用戶的交互、跟服務器的交互，事件的捕捉，網頁的動態(tài)變化等。

CS架構和BS架構

前面介紹了Web相關的基本內容，通過介紹可以看出對用戶來說Web的組成最核心的就是瀏覽器和網站。它們遵循請求-響應模式：

瀏覽器向某個網站發(fā)起請求；
網站接收并執(zhí)行該請求；
網站把執(zhí)行結果返回給瀏覽器；
瀏覽器接收響應并呈現。

這種模式具有普遍性，不管是在現實生活中，或在程序世界里都經常能看到。發(fā)起請求的一方就叫客戶端（Client），執(zhí)行請求來提供某種服務的一方就叫服務器（Server），所以人們把這種模式就叫做CS架構。程序世界里常見的有FTP服務器和FTP客戶端、郵件服務器和郵件客戶端等等。

再后來，由于Web技術的流行和發(fā)展，很多應用都在Web上來實現，比如可以用瀏覽器來實現文件的上傳和下載、郵件的收發(fā)等等。這樣人們不用專門安裝某個應用的客戶端就可以使用該應用，只需要有瀏覽器即可。所以人們又把這種基于瀏覽器（Browser）和HTTP服務器（Server）來實現某種應用的模式就叫做BS架構。

HTTP服務器、Web服務器、Web容器、Servlet容器

現在知道了網站就是由HTTP服務器構建的，而服務器這個詞其實既可以指硬件，又可以指軟件（或程序），不過一臺硬件服務器上通常只會運行一種應用的服務器程序（不考慮虛擬化技術），這是為了性能和高可用的考慮。所以HTTP服務器既可以指運行HTTP服務器軟件的那臺計算機，也可以指HTTP服務器軟件（程序）。我們可以通過上下文來判斷是指哪個。

HTTP客戶端也可以叫Web客戶端。瀏覽器就是Web客戶端，很多手機上的APP也實現或內嵌了HTTP客戶端。各種編程語言實現的用于訪問HTTP服務器的函數、接口或類也是一種HTTP客戶端，只不過它們是由開發(fā)人員來使用的。

HTTP服務器也可叫Web服務器或WWW服務器，現代的Web服務器已經不僅僅是提供靜態(tài)的網頁，通常還提供一個開發(fā)框架，在這個框架之下，開發(fā)人員能夠根據需求開發(fā)能夠動態(tài)生成網頁并把這個網頁返回給瀏覽器的程序，這些程序能被Web服務器加載、管理和運行。這種Web服務器就是Web容器，又可以叫做Web應用服務器、Web應用容器。就是說Web容器肯定也是Web服務器。

之所以叫容器，我想是因為它能運行基于其框架開發(fā)的程序。從這個意義上說，所謂容器，就是提供了一系列規(guī)范或接口的軟件，它能夠裝載、管理、調用或運行按照該規(guī)范或接口所開發(fā)的組件，比如Servlet/JSP容器、Spring IoC容器、Docker容器，甚至操作系統都可以看作一個容器。

目前流行的Web服務器有Apache、Nginx、IIS、WebSphere、WebLogic、JBoss、Tomcat、Netty等等。其中Tomcat和Netty就是我們以后要用來進行Java Web開發(fā)的Web容器。

Java的Web開發(fā)的基礎是Servlet和JSP技術/規(guī)范/標準，而Tomcat實現了這些技術，所以Tomcat又可以叫做Servlet容器或JSP容器。以后再介紹Servlet和JSP，現在不用考慮它們是什么，其實它們就是Java提供的一個開發(fā)框架而已。

隨著技術的發(fā)展，在Web或HTTP的基礎上又出現了SOA（Service-Oriented Architecture，直譯為面向服務架構）、Web Service技術、微服務架構、REST架構等。當然，這些技術還使用了xml和json等技術，這兩種技術主要聚焦于數據內容的表示、存儲、傳輸和交換。這些都咱不討論。

總結

任何一種技術的出現總是為了解決某個問題或實現某個目標而出現的，這就是萬物皆有源，事出皆有因。而Web就是源于希望更方便的知識共享。
任何一種涉及到兩端交互的技術必須要有通信協議。
通信協議可以也應該分層，每一層具有專一的職責。比如IP負責路由、TCP負責端到端的可靠通信、HTTP負責超文本數據的傳輸、Web Service的SOAP協議又負責Web服務的封裝和解封。
HTML是一種標記語言，xml也是。所謂標記語言，就是使用某種形式的標簽來描述數據的元信息。后續(xù)我們可能經常用到xml格式的配置文件。
我們要讓自己擅于創(chuàng)造新概念。當然，新概念必須是在問題的不斷思考、經驗的不斷總結、規(guī)律的不斷發(fā)現、實踐的不斷驗證的基礎上提出的。比如，CS架構、BS架構、Servlet技術、SOA架構、微服務、REST、json等等。
每一個概念就對應一種技術，每一種技術就解決一兩個關鍵問題。

近在群內有時秀出車機導航帶出車款大師APP，很多車友都在問是個什么軟件，一直忙沒時間發(fā)個教程，

今天周末凌晨醒來發(fā)個教程給大家分享，作為車友會的會長又是版主喜歡研究折騰，分享一些經驗活躍

論壇和車友們交流。

所需工具： U盤、電腦、手機、車況大師APP

改裝材料: 藍牙版行車電腦+ wifi 網絡

=========================安裝篇=============================

首先準備藍牙版行車電腦硬件設備，XX淘寶家有賣， 50左右，我這個是從之前的悅翔V3 車上取下來的，用來3年了

OBD 接口的藍牙版行車電腦，需要插在CS55 方向盤底下OBD接口上

第一步：

CS55車機進入神秘頁面安裝第三方APP 這個有很多教程里，我簡單說明

1-1準備U盤一個（可以用車上聽歌那個）U盤需要格式化FAT32格式

相機型號：OPPO R9m 光圈：f/2.2 快門：1/33s 感光度：160 曝光補償：0EV 焦距：4mm

第二步：在電腦上創(chuàng)建一個文本文檔把名字以及后綴名改成zhe.systemui.password.key

我們把這兩個東西都復制到我們的U盤根目錄下, 給下載好車況大師APP給命名，方面安裝好輸入

相機型號：OPPO R9m 光圈：f/2.2 快門：1/33s 感光度：200 曝光補償：0EV 焦距：4mm

第三步：(這里注意一定要把文本文檔后綴.txt也選上，很多車友操作不成功都是因為這里沒改對）

新建文本文檔，接下來為了方便我們在車機上安裝，我們把下載的app名字改個簡單的

相機型號：OPPO R9m 光圈：f/2.2 快門：1/33s 感光度：200 曝光補償：0EV 焦距：4mm

第四部：把U盤插在車上，啟動車電源。

這里需要注意，各個音量必須在中間位置，、

調整好以后，按下靜音鍵，然后按3次系統音量+號，按5次-號，再按3次+號，

再按6次+號。神秘界面會出現

相機型號：OPPO R9m 光圈：f/2.2 快門：1/33s 感光度：500 曝光補償：0EV 焦距：4mm

第五部：神秘界面會出現六

相機型號：OPPO R9m 光圈：f/2.2 快門：1/33s 感光度：64 曝光補償：0EV 焦距：4mm

這里輸入已改名好的車況大師APP, 我改命名“1.APK"

相機型號：OPPO R9m 光圈：f/2.2 快門：1/50s 感光度：80 曝光補償：0EV 焦距：4mm

車況大師安裝中

相機型號：OPPO R9m 光圈：f/2.2 快門：1/50s 感光度：64 曝光補償：0EV 焦距：4mm

大功告成，車況大師安裝成功

相機型號：OPPO R9m 光圈：f/2.2 快門：1/100s 感光度：80 曝光補償：0EV 焦距：4mm

=========================測試使用============================

車機油耗測試界面

相機型號：OPPO R9m 光圈：f/2.2 快門：1/122s 感光度：64 曝光補償：0EV 焦距：4mm

相機型號：OPPO R9m 光圈：f/2.2 快門：1/33s 感光度：200 曝光補償：0EV 焦距：4mm

油耗分析數據

相機型號：OPPO R9m 光圈：f/2.2 快門：1/122s 感光度：64 曝光補償：0EV 焦距：4mm

100公里時速，瞬間油耗數據，這個界面是手機車況大師APP 抓圖

、

時速80馬，快速公里滑行油耗很低

相機型號：OPPO R9m 光圈：f/2.2 快門：1/33s 感光度：1000 曝光補償：0EV 焦距：4mm

相機型號：OPPO R9m 光圈：f/2.2 快門：1/60s 感光度：80 曝光補償：0EV 焦距：4mm

相機型號：OPPO R9m 光圈：f/2.2 快門：1/602s 感光度：64 曝光補償：0EV 焦距：4mm

多朋友詢問哈爾濱工業(yè)大學開發(fā)的極紫外EUV光刻機光源進展怎么樣了？

在聊這個事情之前，請朋友們做一個簡單的小投票，大家認為哈工大的EUV光源功率是多少？

EUV光源的三種主要原理

在聊哈工大EUV光源之前，我們先簡單了解主要的3種EUV光源的歷史：

第一代：放電等離子體(Discharged Produced Plasma，DPP)

DPP是將靶材涂覆在陽極和陰極之間，兩個電極在高壓下產生強烈的放電使靶材產生等離子體。由于Z箍縮效應，當洛倫茲力收縮等離子體時，等離子體被加熱，產生EUV光（圖1）。

而早在2003年，Xtreme公司利用Xe氣在頻率1 kHz條件下放電，研發(fā)出了XTS 13-35 DPP極紫外光源樣機，該樣機在2π立體角內獲得35 W極紫外輻射功率。這是該公司的第一臺商用樣機。

圖1：基于Xe氣毛細管放電的DPP EUV技術原理圖

第二代：激光輔助放電等離子體(Laser-assisted Discharge Plasma，LDP)

LDP是將LPP與DPP結合起來，先用脈沖激光照射靶材，使靶材細化，再運用DPP技術放電使靶材產生EUV光（圖2）。

圖2： LDP EUV光源技術原理圖

2004年，荷蘭 Philips 公司成功研制出 Nova Tin光源，該光源采用 Sn作為工作介質，可以實現200 W的13.5 nm極紫外光輸出。此后，該公司對該光源不斷改進，于2010年將輸出功率提高到 2π立體角內420 W，IF處輸出功率34 W。

2006年ASML公司激光輔助等離子體光源安裝了α樣機，但其IF處功率過低，不滿足工業(yè)化要求。

值得一提的是，LDP技術的EUV光源雖然功率達不到大規(guī)模量產要求，但其穩(wěn)定性已經非常高，可以實現28小時4億次放電的穩(wěn)定出光（圖3）。

圖3：LDP EUV光源可以實現28小時4億次放電的穩(wěn)定出光

第三代：激光等離子體(Laser Produced Plasma，LPP)

LPP技術，是以高強度的脈沖激光為驅動能源照射射流Sn液滴，使靶材產生高溫等離子體并輻射EUV光。（圖4）

圖4：LPP EUV光源技術原理圖

大家知道，目前商用的ASML的高端EUV光刻機采用的是LPP光源。我們之前已經多次介紹，其基于20-40kW的MOPA二氧化碳激光器來實現高的EUV功率。在此不做贅述，有興趣的朋友可以翻閱前文。

2000-2020年哈工大EUV相關專利情況

我們先看看專利數據庫調查的哈工大20年來的EUV光源的專利數據，其中有147條記錄。圖51是哈工大近20年的EUV專利發(fā)表的時間分布圖。

圖5：哈工大近20年的EUV專利發(fā)表分布圖（灰色豎條高度代表專利數量）

我們可以看到兩個明顯的特征：

1，2007-2019年期間，其專利數量成每年大幅增加的趨勢；

2，2019年后突然降低至0。可以看到，

眾所周知，哈工大參與國家科技重大專項02專項課題--放電等離子體極紫外光源技術研究，正是2009-2015年。因此可以大概了解這些專利02專項子課題執(zhí)行期間的成果；可能在02專項一期驗收后，EUV光源的研發(fā)工作趨于停滯狀態(tài)。

2000-2020年哈工大EUV專利具體內容

由于英文專利數據庫中包含了一些臨時專利、專利申請文件、專利文件，為了更精確地分析哈工大EUV專利內容，我在中文專利數據庫中重點了解了其34篇可查專利資料。

整體上來說，除了一部分實用新型專利外，還存在大量地撤回、終止專利文件（圖6，圖7）。因此有效地發(fā)明專利數量大概10篇左右。

圖6：哈工大EUV相關專利中含有部分的實用新型

圖7：哈工大EUV相關專利中含有較多的撤回和終止申請

其中主要的一些發(fā)明專利如下：

2013-09-23：極紫外光刻光源中光學收集鏡直接車削加工精加工方法

2013-09-24：發(fā)明極紫外光刻光源中光學收集鏡直接車削加工粗加工方法

2015-02-16：發(fā)明Xe介質毛細管放電檢測用極紫外光源的放電室

2016-05-31：發(fā)明一種用于毛細管極紫外光刻光源的放電電極

2016-06-17：發(fā)明極紫外光光刻光源收集鏡片集成用的基座

2016-06-20：發(fā)明毛細管放電Z箍縮極紫外光光刻光源的收集系統

2016-06-22：發(fā)明一種用于極紫外光源的電源中磁脈沖壓縮網絡的電路參數的獲得方法

從專利列表中，我們可以看到哈工大的EUV光源技術實際上是基于Xe氣毛細管放電技術，是早期的一種DPP光源技術。

值得一提的是，其中2016年的一篇專利《發(fā)明一種用于毛細管極紫外光刻光源的放電電極》已經授權于黑龍江省工業(yè)技術研究院（圖8）。是否采用該技術用于制造DPP光源，目前還不得而知。

圖8：哈工大EUV專利列表中唯一一篇已經授權

研究人員的情況

從哈工大的EUV專利資料中看，其中所有專利均出自這四位研究人員：

祝東遠、王騏、徐強、趙永蓬。

祝東遠是哈工大2012年畢業(yè)的碩士研究生（圖9），主要研究了極紫外光源收集系統的仿真設計及提出了一套加工方法。

圖9：祝東遠的碩士研究生論文截圖

王騏教授，是哈爾濱工業(yè)大學航天學院光電子技術研究所博士生導師，總裝備部光電子技術專家組成員，國家自然科學基金委員會學科評審組成員。哈爾濱工業(yè)大學核物理專業(yè)1964年本科畢業(yè)。主持了2009-2012年的國家自然科學基金項目《放電等離子體極紫外光刻光源關鍵物理及技術問題研究 》（圖10），該項目在國內技術空白的條件下，創(chuàng)新性思維研制了建造了重頻1kHz毛細管放電極紫外光刻光源系統，獨立設計、研制了全部的各單元部件，突破了國內相關技術空白。該項目可以說奠定了哈工大的DPP研究基礎。

圖10：王騏教授主持的2009-2012年的國家自然科學基金項目

徐強，2014年9月畢業(yè)于哈爾濱工業(yè)大學物理電子學專業(yè)并獲工學博士學位。徐強博士的畢業(yè)論文題目是《毛細管放電Z箍縮Xe等離子體EUV光源研究》（圖11），可見是EUV光源的研究主力。

圖11：徐強博士的博士論文首頁

徐強博士后來加入東北林業(yè)大學物理學院，東北林業(yè)大學2018年的主頁上有徐強博士的簡單介紹資料。徐強博士參與了DPP系統的主要研究，其早期主要論文也是基于Xe毛細管放電的DPP EUV光源研究。但可喜的是2019年，徐強博士連續(xù)發(fā)表兩篇LDP研究論文：

1. Xu Qiang, Tian He, Zhao Yongpeng, et al., Influence of Pre-Ionized Plasma on the Dynamics of a Tin Laser-Triggered Discharge-Plasma, Applied Sciences, 2019, 9(23), 4981

2. Xu Qiang, Deng Xiaolong, Tian He, et al., Effect of Time Delay on Laser-Triggered Discharge Plasma for a Beyond EUV Source, Symmetry, 2019, 11(5), 658

趙永蓬，是哈爾濱工業(yè)大學2001年畢業(yè)的博士生，哈爾濱工業(yè)大學航天學院副院長。自1995年至今一直從事軟X射線激光和極紫外光源研究工作，在國內外雜志發(fā)表論文70余篇。是EUV光源項目的領軍人物。從公開資料看，趙永蓬教授是毛細管放電DPP EUV項目的主要負責人。但其研究方向是短波長激光，近期發(fā)表了一系列的論文，是基于毛細管放電原理的各種短波長激光器，其專長并非在EUV光源上。趙永蓬教授也是徐強博士的導師。

哈工大EUV研究方向

本文開頭我們提到主要有三種EUV技術：第一代DPP放電技術、第二代LDP技術、第三代LPP技術。而哈工大集中研究的是最早期的第一代基于毛細管放電的DPP技術。

關于毛細管放電極紫外光源的發(fā)展歷史大概如下：

1988年：美國卡羅拉多州立大學學者Rocca，首次提出用毛細管放電產生軟X射線或極紫外激光的臺式激光器的構想。

1994年：Rocca小組首次實現了毛細管放電類氖氯產生46.9 nm的激光

1997年：美國學者Klosner的研究組利用LiH毛細管放電獲得了13.5 nm的軟X射線輸出

1998年：Klosner研究組在充有Xe的毛細管放電過程中觀測到強度較高的10~16 nm軟X射線輸出，實現技術突破。

也就是說，哈工大實際上掌握的是1998年美國Klosner研究組的DPP技術。

哈工大EUV研究結果

2018年12月，哈工大教授趙永蓬教授發(fā)表綜述文章（圖1），講述了哈工大在13.5nm放電Xe等離子體極紫外光源的工作。文中展示了最新的重復頻率為1 kHz的放電Xe等離子體極紫外光源樣機的實物（圖13）。

圖12：:2018年論文綜述哈工大EUV光源研究結果

圖13：重復頻率為1 kHz的放電Xe等離子體極紫外光源樣機的實物

回到本文開頭提到的投票環(huán)節(jié)，這里我們可以給出哈工大的EUV光源的功率了。數字請看圖14。 朋友們？這個數字和你們的估計是一樣的嗎？

圖14：哈工大論文中關于EUV功率的描述，其在IF點功率約為100mW

結語

哈工大早期具有良好的EUV研究基礎，王騏教授的博士生，張興強，在2008年的博士畢業(yè)論文《毛細管放電的X光激光若干特性及紫外光刻光源研究》。此時距離美國發(fā)明Xe等離子體放電DPP技術也才10年，距離2003年，Xtreme公司推出的首款35瓦光源也僅僅過去5年。

然而可惜的是，當歐美日正在轟轟烈烈地開展LDP和LPP研究的同時，中國鮮有動作。并且在02專項依然以最落后的Xe氣等離子體DPP技術作為攻關課題，失去了追趕的技術。而即便是在已經被市場暫時淘汰的DPP和LDP技術上，中國的基礎研究也是相差太大。這期間，我發(fā)現哈工大有一位2014年碩士研究生李小強，做了一些激光輔助放電Sn等離子體13.5 nm極紫外輻射研究，然而并沒有后續(xù)的工作。

更遺憾的是，我們并沒有看到哈工大一代又一代畢業(yè)的學生能在EUV技術上堅守。當然這和科技發(fā)展的客觀規(guī)律有關，我們不能苛責大學里幾位教授、博士可以完成國外投入幾十億、幾百億、幾十個頂尖光刻機制造團隊共同攻關才得以完成的產業(yè)化大業(yè)。目前已經完成的公開報道的DPP光源也只有1998年美國研究的水平。

我們從長春光機所、華中科大、上海光機所，一直講到哈工大，其實我相信大多數朋友應該已經意識到，國內高校的整體研究狀況和現實情況。我們并沒有非常差，但是也并沒有外界想象中的已經具備非常好的實力和技術儲備。反而，我們看到，大多數技術僅僅停留在2000-2005年這一個時間節(jié)點上，也就是說，我們并沒有開展任何EUV光刻機產業(yè)化的組織和能力。

至此，我想朋友們對國產EUV光源的研究情況應該已經有了比較全面的了解了吧？

下次見！

參考1：https://www.onlinelibrary.wiley.com/doi/pdf/10.1002/opph.201190189

參考2：http://www.chinaaet.com/article/3000019711

參考3：https://www.docin.com/p-1698390168.html

參考4：https://www.ipfeibiao.com/patent/view/2016103788627.html

參考5：https://science.nefu.edu.cn/info/1224/2235.htm

參考6：https://science.nefu.edu.cn/info/1197/1352.htm

參考7：http://homepage.hit.edu.cn/zhaoyongpeng

參考8：https://www.engr.colostate.edu/ece/faculty/rocca/pdf/journals/ECEjjr00092.pdf

參考9：http://www.opticsjournal.net/Articles/Abstract/zgjg/45/11/1100001.cshtml

在線咨詢

上一篇：HTML5來了：5個好用的混合式App開發(fā)工具
下一篇：C++入門必看：MFC CFile類的運用

您的項目需求

*請認真填寫需求信息，我們會在24小時內與您取得聯系。

成人久久电影_日韩在线|中文_一区二区免费_国产91网站在线观看免费

整合營銷服務商

我的Java Web之路7 - HTTP和HTML

錄

介紹

訪問網站

瀏覽器

URL

域名系統 - DNS

超文本傳輸協議 - HTTP

網頁 - HTML

CS架構和BS架構

HTTP服務器、Web服務器、Web容器、Servlet容器

總結

EUV光源的三種主要原理

2000-2020年哈工大EUV相關專利情況

2000-2020年哈工大EUV專利具體內容

研究人員的情況

哈工大EUV研究方向

哈工大EUV研究結果

結語

您的項目需求